Intercovamex ofrece instrumentos científicos y metrológicos basados en la técnicas de análisis siguientes: XRF, WDS, SIMS, AES, XPS y ADLD.
XRF: En esta técnica, se bombardea la muestra con rayos X y se mide la fluorescencia. La serie XGT de HORIBA mide la composición elemental de muestras sólidas de todos tipos o biológicas a la presión atmosférica y con resolución lateral de 10 micras. También permiten hacer imágenes ópticas e imágenes en transmisión. El TXRF8300W de CAMECA del grupo AMETEK esta dedicado a la medición de trazas contaminantes en obleas de semiconductores de 200 o 300 mm.
WDS: La espectrometría de dispersión energética de longitud de onda (WDS en Inglés) permite hacer el análisis elemental de muestras en alto vacío con alta precisión, alta reproducibilidad y con niveles de concentración del orden de ppm (partes por millón). El haz de electrones es similar al de un microscopio electrónico de barrido (algunos nanómetros de resolución) pero estabilidad mejorada. Los espectrómetros WDS (entre 2 y 5 en general) analizan los rayos X en función de su longitud de onda. La microsonda CAMECA SX100 del grupo AMETEK es la referencia mundial EPMA en los laboratorios de geología e investigación en materiales desde hace muchos años. El espectrómetro CAMECA SHALLOW PROBE LEXFAB-300 (Low Energy X Ray Emission Spectrometer) esta dedicado al análisis elemental de los primeros nanómetros de la superficie de semiconductores.
AES, XPS: En estas técnicas se bombardea la muestra con un haz de electrones (AES = Auger Electrón Spectroscopy) o con rayos X (XPS= Xray induced Photoelectron Spectroscopy) y se analizan los electrones emitidos por la superficie en ultra alto vacío. Los niveles de concentraciones detectados usualmente son del nivel de ppm con resolución espacial hasta nanométrica. Intercovamex ha instalado varios equipos de la marca THERMOFISHER SCIENTIFIC (ex VG Scientific) en México. El sistema XPS referencia mundial es el ESCALAB 250 debido a su versatilidad, resolución espacial (1 micra en XPS y 100 nm en AES) y alta resolución espectral. El último XPS es el modelo compacto K ALPHA de costo muy competitivo. Para presupuestos mas limitados, Intercovamex integra en México el modelo INTERCOVAMEX XPS110 basado en el novedoso y muy exitoso espectrómetro ALPHA 110. Para XPS en pequeñas áreas, se ofrecen la microsonda convencional SIGMA y la novedosa serie THETA PROBE cual permite el análisis en profundidad en modo ARXPS con una excelente resolución en profundidad. La microsonda Auger MICROLAB 350 permite el mapeo elemental en modo AES con 10 nm de resolución espacial con opción para XPS.
TOMOGRAPHIC ATOM PROBE (TAP): El LA-WATAP de CAMECA del grupo AMETEK combina un láser de pulsos ultra cortos (femto segundos) y un detector de tipo Advanced Delay Line (ADLD) para el mapeo elemental cuantitativo en 3D de heterogeneidades químicas a nivel atómico.
SIMS: La espectrometría de masa de iones secundarios (SIMS) permite medir la concentración elemental al nivel ppb (parte por billón). Ésto en función de la profundidad y con resolución espacial nanométrica. CAMECA (grupo AMETEK) es el líder mundial en SIMS ofreciendo la gama más amplia de equipos. Todos trabajan en ultra alto vacío, especialidad de Intercovamex. El IMS 7f es la referencia mundial para ver el perfil de concentración de elementos en función de la profundidad. El IMS 7f-GEO permite la medición de relaciones isotópicas con precisión sub-permil. El IMS 7fR permite analizar muestras radioactivas. El SIMS 4550 tiene aplicaciones similares al IMS7f pero utiliza un espectrómetro cuadripolar de costo mas bajo y particularmente eficaz con muestras aislantes. Los IMS Wf-SC Ultra y SIMS 4600 se utilizan exclusivamente en plantas de semiconductores ya que analizan obleas de 300 mm de manera completamente automatizada. El NanoSIMS 50/50L puede analizar, con resolución espacial nanométrica, elementos desde Hidrógeno hasta Plutonio encontrados en muestras (no preparadas) cosmológicas, biológicas o de cualquier material. El IMS 1280 y su espectrómetro magnético de gran tamaño, permiten medir relaciones isotópicas o detectar trazas con reproducibilidad sub-permil en muestras minerales
