SISTEMAS y COMPONENTES PARA EVAPORACIÓN TÉRMICA
COMPONENTES: La compañía K.J. LESKER provee campanas, cámaras cúbicas, atravesadoras eléctricas y de movimiento, celdas, fuentes evaporación, materiales para evaporar y accesorios como chalupas y filamentos. MKS fabrica los elementos para el control del proceso tales como los controladores de flujo másico, válvulas de conductancia variable, vacúometros. RIBER fabrica celdas de efusión para MBE.
SISTEMAS K.J. LESKER: INTERCOVAMEX ofrece sistemas completos automatizados e integrados en E.U.A por K.J. LESKER.
SISTEMAS RIBER: Son los sistemas que permiten el control más fino del espesor y composición de las películas delgadas depositadas. Para esto los sistemas trabajan en Ultra Alto Vacío a presión de 10-11 Torr y con la técnica de epitaxia por haces moleculares (MBE en ingles).
SISTEMAS INTERCOVAMEX: Con el apoyo de sus proveedores, INTERCOVAMEX integra en su taller de Cuernavaca sistemas para investigación o pequeña producción a precios muy atractivos. Así, los investigadores pueden disponer de un sistema en menos tiempo que si lo armaran ellos mismos y pueden participar en el armado si así lo desean. Las partes esenciales más críticas de los sistemas son importadas de compañías lideres mundiales: ALCATEL, MKS, LESKER, ADVANCED ENERGY... Sólo el chasis y accesorios secundarios se fabrican en México.
En colaboración con nuestros clientes, adecuamos la configuración de cada sistema a las necesidades de los experimentos contemplados y del presupuesto. Para ciertas aplicaciones diseñamos un prototipo pero usualmente, partimos de modelos de sistemas INTERCOVAMEX cuya eficacia ha sido demostrada en docenas de artículos científicos publicados por los usuarios desde 1994:
El modelo TE12P permite depositar hasta 3 materiales sobre sustratos de 75 mm a 100 mm de diámetro típicamente y con algunas posibilidades de opciones como cañón de sputtering, cañón de electrones, medición de espesor por balanza de cuarzo, calefacción del sustrato.
El modelo TE18P es similar al TE12P pero de mayor tamaño para depositar sobre sustratos de 100 mm a 200 mm de diámetro típicamente.
Otros modelos incluyen una cámara de tipo cúbica con apertura frontal:
