SISTEMAS y COMPONENTES PARA SPUTTERING:
COMPONENTES PARA SPUTTERING: La compañía K.
LESKER fabrica cañones de sputtering con diámetros desde 1" hasta 6" para materiales diversos incluyendo materiales magnéticos. Esta serie llamada TORUS ha sido comprobada en muchos procesos industriales y se acopla perfectamente a las fuentes RF, DC y DC Pulsado de
ADVANCED ENERGY, el líder mundial en este campo.. MKS fabrica los elementos para el control del proceso tales como los controladores de flujo másico, válvulas de conductancia variable, vacúometros y también fuente de microondas.
SISTEMAS K.J. LESKER: INTERCOVAMEX ofrece sistemas completos automatizados e integrados en E.U.A por K.J. LESKER.
SISTEMAS INTERCOVAMEX: Con el apoyo de sus proveedores, INTERCOVAMEX integra en su taller de Cuernavaca sistemas para investigación o pequeña producción a precios muy atractivos. Así, los investigadores pueden disponer de un sistema en menos tiempo que si lo armaran ellos mismos y pueden participar en el armado si así lo desean. Las partes esenciales más críticas de los sistemas son importadas de compañías lideres mundiales: ALCATEL, MKS, LESKER, ADVANCED ENERGY... Sólo el chasis y accesorios secundarios se fabrican en México.
En colaboración con nuestros clientes, adecuamos la configuración de cada sistema a las necesidades de los experimentos contemplados y del presupuesto. Para ciertas aplicaciones diseñamos un prototipo pero usualmente, partimos de modelos de sistemas INTERCOVAMEX cuya eficacia ha sido demostrada en docenas de artículos científicos publicados por los usuarios desde 1994:
El modelo H2 permite depositar hasta dos materiales sobre pequeños sustratos (25 a 75 mm de diámetro típicamente).
El modelo V3 permite depositar hasta 6 materiales sobre sustratos de 75 mm de diámetro típicamente y con muchas posibilidades de opciones como deposito por láser pulsado, análisis de plasma, medición de espesor por balanza de cuarzo o por elipsometría….
El modelo V4 es similar al V3 pero de mayor tamaño para depositar sobre sustratos de 100 mm a 200 mm de diámetro típicamente.
