CALIBRADORES
Para hacer la calibración de sus vacuometros y controladores de flujo, puede usted tomar en cuenta las siguientes alternativas:
1- Mandar sus equipos a un laboratorio secundario de calibración.
2- Pedir a metrólogos de un laboratorio secundario realizar la calibración insitu.
3- Realizar usted mismo la calibración por medio de un sistema de calibración previamente adquirido.
En los tres casos, los patrones de referencia que se utilizan deberán ser revisados y certificados regularmente por un centro nacional de metrología como el CENAM en Querétaro, el NIST en EUA o el PTB en Alemania debido a que estas instalaciones cuentan con sistemas de calibración primarios.
Intercovamex distribuye los sistemas y patrones de la marca MKS INSTRUMENTS, líder mundial en el campo.
CALIBRADORES DE PRESIÓN
El PBTS1A cuenta con la facultad de que permite calibrar en sitio vacuometros en un rango de 3 décadas entre 10-5 Torr y 25,000 Torr. Este calibrador cuenta con un solo patrón MKS 690A. Su uso es recomendable para cuartos limpios.
El PBMS2B es similar al PBTS1A pero cuenta con dos patrones MKS 690A para poder calibrar en un rango de 6 décadas .
El PVS6E es el sistema mas utilizado en los laboratorios debido a que puede calibrar en todo el intervalo 10-5 Torr – 1000 Torr gracias a tres patrones 690A.
Es un sistema autónomo porque cuenta con bombas de bajo y alto vacío.
El SRG-2CE es un spinning rotor gauge para vacuometro en alto vacío desde
10-2 Torr hasta 10-7 Torr.
CALIBRADORES DE FLUJO
El PFTS1A es un sistema para calibrar flujometros insitu en el intervalo
2 sccm hasta 20 slm con presión del 1%. Esta basado en la técnica Rate of Rise.
El PFTS2A es un sistema para calibrar flujometros en sitio en el intervalo 1 sccm hasta 200 slm con presión del 0.5%. Sus patrones son medidores de flujo másico marca MKS.
VERIFICADORES DE FLUJO
El GBROR y el TRU-FLO se instalan en permanencia sobre un sistema de deposito al vacío para verificar rápidamente el buen funcionamiento de controladores de flujo másico durante los paros del proceso.
