La presencia de vapores de agua en un sistema de vacío no es deseable ya que alarga los tiempos de bombeo, limita el vacío y degrada la calidad de las películas depositadas en procesos como sputtering o evaporación térmica. Además, debido a los cambios en la humedad relativa, los tiempos de ciclos de bombeo pueden variar de una estación a la otra especialmente en evaporadoras industriales de gran tamaño.

La manera mas eficiente de reducir estos vapores es instalando una trampa
criogénica ya que las moléculas de agua se adsorben sobre superficies a muy bajas temperaturas.

En el pasado, se utilizaba Nitrógeno líquido para enfriar las superficies adsorbentes. POLYCOLD-BROOKS ha desarrollado trampas basadas en refrigerantes especiales que eliminan el uso de Nitrógeno líquido. POLYCOLD-BROOKS es líder mundial desde hace mas de 30 años en este campo.



Especialmente diseñada para cámaras grandes (evaporadoras y sputtering), la serie PFC ofrece hasta 220 000 l/s de velocidad de bombeo de vapores de agua. En pocos minutos, se baja la temperatura de serpentines y trampas hasta -150oC , mejorando considerablemente los ciclos de bombeo y la calidad de los recubrimientos.

Las trampas de la serie Aquatrap se instalan usualmente entre una cámara de vacío
y una bomba turbo molecular combinando así las ventajas de estos dos tipos de bombas: La bomba turbo evacua la mayoría de los gases en régimen molecular mientras el Aquatrap reduce drásticamente los vapores de agua.


OTRAS TRAMPAS
ALCATEL, MKS y K.J. LESKER ofrecen trampas para condensar otros gases y vapores condensables como vapores de aceite con el fin de proteger una bomba (condensación de vapor de agua antes de la bomba), para proteger una camara de proceso (limitar el regreso de aceite hacia el proceso), para mejor el vacio final (adsorcion de algunos vapores) o para proteger procesos de semiconductores como TEOS. Algunas de estas trampas requieren enfriamiento por agua o por Nitrogeno liquido o por un refrigerante.